臭氧——一种有着特殊气味的淡蓝色气体。它所形成的臭氧层保护地球不受紫外线的过度照射，为生命营造舒适空间。臭氧不止存在于大气中，雷雨天过后的空气总是特别清新，而且有一股淡淡的鲜草味，这就是臭氧的气味。不过高浓度的臭氧则具有一种类似于鱼腥味的刺激性气味。我们对臭氧的认知大抵如此，但臭氧的“潜力”远远超乎想象。臭氧被广泛应用在医疗领域，常用作医院走廊、医疗器械的杀菌消毒。欧洲许多国家人们对臭氧在医疗器械方面的应用已经司空见惯。

在无菌生产工艺中，为了对无菌生产区域环境和微生物进行一个有效的控制，需要选择合适的消毒方式，空间消毒的方式有紫外线照射，甲醛、环氧乙烷等气体进行熏蒸。但是常规的消毒灭菌方法有诸多的缺点，如紫外线照射法，紫外灯的照射强度会随使用时间的延长而衰减，什么时候达不到消毒要求我们不得面知，紫外线穿透率较弱，并且有死角，环境湿度对消毒效果影响较大，采用熏蒸，消毒周期长，空调系统需要长时间运行，能耗增加并且还存在二次污染的问题。

臭氧能氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。 透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。臭氧消毒后会分解成氧气，所以臭氧消毒也称之为绿色消毒。省去了消毒后的二次清洁。

洁净区臭氧消毒是利用HVAC系统的循环风作为臭氧的载体，将臭氧发生器生产的臭氧由HVAC系统中的风机产生的压力风源，扩散至整个洁净区域，并使空气中的臭氧浓度均匀分布，即可达到灭菌的目的。在洁净区臭氧消毒效果的验证前提是应先确认和校准的臭氧发生器技术指标是否满足消毒的要求，主要指标的有臭氧产量、臭氧浓度和时间定时器等。并通过最终检查细菌数、环境微生物水平、消毒时的浓度来确定消毒效果。

臭氧发生器消毒的计算，在设计臭氧消毒程序时，常依托于空调系统的运行将臭氧送入洁净室内部，考虑臭氧浓度时，应针对消毒空间体积、空调系统总送风量、空调系统新风量、空调系统排风（含渗透风、泄漏风等）等参数综合计算，然后选择合适的臭氧发生器，并进行安装调试、确认之后投入使用。国际环境空气质量标准提出，人在一个小时内可接受臭氧的极限浓度是260μg/m。在320μg/m臭氧环境中活动1h就会引起咳嗽、呼吸困难及肺功能下降。臭氧还能参与生物体中的不饱和脂肪酸、氨基及其他蛋白质反应，使长时间直接接触高浓度臭氧的人出现疲乏、咳嗽、胸闷胸痛、皮肤起皱、恶心头痛、脉搏加速、记忆力衰退、视力下降等症状，所以当我们用于臭氧消毒时必须是在无人条件下进行,而且在使用之后人员进入该区域前,需要确保足够的通风时间，把浓度降低到对人体无害的程度。